GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

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  • 名称
  • 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性
  • 图集标准编号
  • GB/T 33523.603-2022
  • 发布日期
  • 2022-12-30
  • 实施日期
  • 2023-04-01
  • 图集标准编号
  • GB/T 33523.603-2022
  • 标准状态
  • 现行(*非即时更新以实际为准)
详情介绍

GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

标准编号:GB/T 33523.603-2022

规范名称:产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

该国家标准规定了相移干涉法(PS)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

全国产品几何技术规范标准化技术委员会

起草单位:清华大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、广州计量检测技术研究院、山东大学、哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、中机研标准技术研究院(北京)有限公司

起草人:尉昊赟、闫鹏、施玉书、代鲲鹏、马俊杰、刘俭、朱悦

GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

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