GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

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信息属性
  • 名称
  • 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
  • 图集标准编号
  • GB/T 42271-2022
  • 发布日期
  • 2022-12-30
  • 实施日期
  • 2023-04-01
  • 图集标准编号
  • GB/T 42271-2022
  • 标准状态
  • 现行(*非即时更新以实际为准)
详情介绍

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

标准编号:GB/T 42271-2022

规范名称:半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

该国家标准描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。

该国家标准适用于测量电阻率范围为1×105Ω·cm~1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:北京天科合达半导体股份有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院有限责任公司

起草人:彭同华、佘宗静、李素青、王波、刘立娜、王大军、张贺、杨建、袁松

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法(图)

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